대면적, 고정밀 치수 측정 시스템. 고속 리니어 모터 드라이브, 단일 또는 이중 배율 고정 렌즈 광학. PCB, 스텐실, 평판 디스플레이, 에칭 시트, 마스크 패턴과 같은 대형 부품은 물론 중첩된 소형 부품 그룹을 측정하는 데 적합합니다.
고속 리니어 모터 드라이브와 단일 또는 이중 배율 고정 렌즈 광학 시스템을 갖춘 높은 처리량, 고정밀 치수 측정 시스템입니다. 클린룸부터 공장 현장까지 다양한 생산 환경에서 대량 작업을 위해 설계되었습니다.
고속 리니어 모터 드라이브, 단일 배율 고정 광학 장치, 고성능 Z축 모션 어셈블리를 갖춘 초고정밀 치수 측정 시스템입니다. 클린룸부터 공장 현장까지 다양한 생산 환경에서 대량으로 작동하도록 설계되었습니다.
초고정밀 임계 치수 측정 시스템. 리니어 모터 드라이브의 XYZ 정확도와 초고배율 광학이 결합된 시스템입니다. 웨이퍼, 마스크, MEMS 및 기타 미세 가공 부품을 측정하도록 설계되었습니다.