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측정 시스템

불가능한 관찰과 측정을 가능으로 바꾸는 하이엔드 비접촉 3차원측정기
광학 측정 시스템
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웨이퍼, 포토마스크, HDD 슬라이더, 서스펜션, MEMS, 반도체 패키지, 프로브 카드 및 마이크로 부품 제조 공정 측정을 위한 마련된 VIEW 비접촉 3차원측정기 라인업.

Benchmark 250

벤치탑 소형 정밀 치수측정기 

Benchmark 300

플로워 스탠드형 고성능 측정기 

Benchmark 450

고 부가가치, 고정밀 측정기 

Benchmark XLT
초대형 치수측정기
Pinnacle 250
고생산성, 고정밀 치수측정기
Pinnacle Plus
Pinnacle250 상위 모델
Summit 600/625/800
높은 생산성을 겸비한 고정밀도 대형 측정기
마이크로라인 AF
MicroLine AF
선 폭(CD) 및 오버레이 자동 측정 현미경
마이크로라인 AF 플러스
MicroLine AF Plus
선 폭(CD) 및 오버레이 자동 측정 현미경

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VMS® 및 Elements® 소프트웨어

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