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MicroLine AF
선 폭(CD) 및 오버레이 자동 측정 현미경.
VIEW MicroLine®은 완전 자동화 작업이 필요하지 않은 상황에서 웨이퍼, 마스크, MEMS 및 기타 미세 가공 디바이스의 중요 치수 (CD) 를 자동으로 측정하기 위해 설계된 비젼 마이크로스코프 입니다.
MicroLine 시스템은 최고 품질의 현미경 광학, 모터 구동 방식의 자동 초점, 수동식 스테이지 이송 방식이며 프로그램에 의해 제어가 가능한 조명 및 측정 레시피를 갖추고 있습니다. 표면 반사 조명은 표준이며 투과 조명은 옵션으로 제공됩니다. MicroLine 시스템은 밝은 선과 어두운 선, 반투명 레이어, 불규칙한 가장자리가 있는 선 및 기타 주요 형상들을 측정할 수 있습니다.
기준
선택 과목
XYZ 여행
MicroLine 1000 100 x 100 x 175mm
MicroLine 2000 200 x 200 x 175mm
MicroLine 3000 300 x 300 x 145mm
계측 카메라
XY 스테이지
대물 렌즈(현장 교환 가능)
5X BF 또는 BF/DF
10X BF 또는 BF/DF
20X LWD, BF 또는 BF/DF
100X LWD, BF 또는 BF/DF
150X LWD, BF 또는 BF/DF
이미징 광학
수평 명시야/암시야 조명기, DIC 슬롯이 있는 5대물 수동 렌즈 터렛, 광학 십자선이 있는 틸트 삼안 보기 시스템, 카메라 마운트가 있는 표준 0.63X 백 튜브를 포함한 올림푸스 현미경 광학
조명 장치
특징
MicroLine 시스템은 웨이퍼, 마스크, MEMS 및 기타 미세 가공 부품을 측정하는 데 적합합니다. 최대 300 x 300mm 부품에서 0.5미크론만큼 작은 형상에 대한 정밀한 광학 측정이 가능합니다. 고급 조명 및 광학 기능을 갖춘 MicroLine은 투명 레이어, 불규칙한 에지가 있는 라인 등을 측정하는 강력한 기능을 자랑합니다.
MicroLine 모델은 VIEW시스템의 기본 소프트웨어인 VMS 프로그램이 탑재됩니다.
