場發射器顯示器饋孔測量

製造場發射器顯示器 (FED) 並確保其製造組件的精度和質量是一項艱鉅的挑戰。其中一項挑戰涉及以 ± 0.01 µm 或更高的精度精確測量 FED 閘板中的孔直徑和圓度。

為此，VIEW 系統分析測量窗口內的像素並構建圓的徑向強度分佈。與掃描電子顯微鏡 (SEM) 相比，FED 生產環境中的高精度非接觸式測量可實現更快、更準確的測量，並具有更高的可重複性。