Máy phát hiện trường Đo lỗ Fed

Màn hình máy phát hiện trường sản xuất (FED) và đảm bảo độ chính xác và chất lượng của các thành phần chế tạo của chúng là một thách thức khó khăn. Một thách thức như vậy liên quan đến việc đo chính xác đường kính lỗ và độ tròn trong tấm cổng FED với độ chính xác ± 0,01 µm hoặc cao hơn.

Để thực hiện điều này, hệ thống VIEW phân tích các pixel trong cửa sổ đo lường và xây dựng cấu hình cường độ xuyên tâm của hình tròn. Phép đo không tiếp xúc với độ chính xác cao trong môi trường sản xuất FED mang lại kết quả đo nhanh hơn và chính xác hơn với độ lặp lại cao hơn so với Kính hiển vi điện tử quét (SEM).