電界放出ディスプレイのフィードホール測定

フィールドエミッタディスプレイ（FED）を製造し、製造されたコンポーネントの精度と品質を確保することは、困難な課題です。そのような課題の1つは、FEDゲートプレートの穴の直径と真円度を±0.01 µm以上の精度で正確に測定することです。

これを実現するために、VIEWシステムは測定ウィンドウ内のピクセルを分析し、円の放射状強度プロファイルを作成します。 FED実稼働環境での高精度の非接触測定により、走査型電子顕微鏡（SEM）よりも高速で正確な測定が可能になり、再現性が高くなります。