當今高分辨率 CRT 上使用的蔭罩的檢測過程提出了艱鉅的計量挑戰,因為需要對單個蔭罩孔徑的特徵進行非常精確的測量,同時還要在代表整個屏幕區域的相對較大的坐標空間上保持均勻性。
掩模中單個特徵和特徵組之間的準確位置、尺寸和最小/最大距離對於在成品 CRT 的整個顯示區域實現一致的清晰度和色彩保真度至關重要。為了應對這些挑戰,計量系統必須能夠在大尺寸工作台上保持一致的高分辨率精度和嚴格校準,同時還提供高速載物台移動性能以保持可接受的吞吐量。
快速的測量週期時間、複雜的圖像識別、靈活的照明功能和自動聚焦/網格聚焦功能對於有效的近在線蔭罩過程控制檢查也至關重要。