当今高分辨率 CRT 上使用的荫罩的检测过程提出了艰巨的计量挑战,因为需要对单个荫罩孔径的特征进行非常精确的测量,同时还要在代表整个屏幕区域的相对较大的坐标空间上保持均匀性。
掩模中单个特征和特征组之间的准确位置、尺寸和最小/最大距离对于在成品 CRT 的整个显示区域实现一致的清晰度和色彩保真度至关重要。为了应对这些挑战,计量系统必须能够在大尺寸工作台上保持一致的高分辨率精度和严格校准,同时还提供高速载物台移动性能以保持可接受的吞吐量。
快速的测量周期时间、复杂的图像识别、灵活的照明功能和自动聚焦/网格聚焦功能对于有效的近在线荫罩过程控制检查也至关重要。