读写头

读/写头的检测过程需要高精度的非接触式计量功能，以控制读/写间隙测量中严格的 Z 轴公差以及从侧轨到极尖特征顶面的 Z 尺寸变化。

因此，用于头部检测的计量平台必须通过快速准确的 Z 轴功能来补充其 XY 边缘查找功能，使用高度可重复的视频自动对焦或集成激光选项来捕获关键的 3 维特征。