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讀/寫頭的檢測過程需要高精度的非接觸式計量功能,以控制讀/寫間隙測量中嚴格的 Z 軸公差以及從側軌到極尖特徵頂面的 Z 尺寸變化。
因此,用於頭部檢測的計量平台必須通過快速準確的 Z 軸功能來補充其 XY 邊緣查找功能,使用高度可重複的視頻自動對焦或集成激光選項來捕獲關鍵的 3 維特徵。
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