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読み取り/書き込みヘッドの検査プロセスでは、読み取り/書き込みギャップ測定の厳密なZ軸公差と、サイドレールからポールチップフィーチャの上面までのZ寸法の変動を制御するために、高精度の非接触計測機能が必要です。
したがって、頭部検査用の計測プラットフォームは、重要な3次元の特徴をキャプチャするために、再現性の高いビデオオートフォーカスまたは統合レーザーオプションのいずれかを使用して、高速で正確なZ軸機能でXYエッジ検出機能を補完する必要があります。
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