MicroLine AF Plus

高性能の臨界寸法測定システム。

VIEWMicroLine®は、完全に自動化された操作を必要としない状況でのウェーハ、マスク、MEMSおよびその他の微細加工デバイス用の高性能の重要な寸法測定システムです。

MicroLineシステムは、最高品質の顕微鏡光学系、電動オートフォーカス、電動ステージ、および完全にプログラム可能な照明と測定のレシピを備えています。反射照明が標準で、透過照明はオプションで利用できます。 MicroLineシステムは、明るい線と暗い線、半透明の層、不規則なエッジを持つ線、およびその他の重要な機能を測定できます。

標準
オプション
XYZトラベル

MicroLine 1000 100 x 100 x 175 mm
MicroLine 2000 200 x 200 x 175 mm
MicroLine 3000 300 x 300 x 145 mm

計測カメラ
2.0メガピクセル、デジタル、白黒計測カメラ
1.4メガピクセル、2/3インチ、デジタル、モノクロカラーおよびその他のカメラ構成はご要望に応じてご利用いただけます
XYステージ
手動同軸位置決めとクイックリリースを備えたクロスローラー。透過光用ガラスステージインサート
対物レンズ(フィールド交換可能)
10Xブライトフィールド50Xブライトフィールド

5XBFまたはBF / DF
10XBFまたはBF / DF
20X LWD、BFまたはBF / DF
100X LWD、BFまたはBF / DF
150X LWD、BFまたはBF / DF

イメージング光学

オリンパス顕微鏡光学系、水平明視野/暗視野照明装置、DICスロット付き5目的手動レンズタレット、光学十字線付き傾斜三眼観察システム、カメラマウント付き標準0.63Xバックチューブ

イルミネーション
緑色のLED同軸表面光とLED透過サブステージ光、光源と強度をプログラム可能
白色LED同軸表面光およびカラーフィルター
特徴

MicroLineシステムは、ウェーハ、マスク、MEMS、およびその他の微細加工部品の測定に最適です。これらの有能なデスクトップ機器は、300 x 300mmまでの部品で0.5ミクロンの小さな機能の正確な光学測定を提供します。高度な照明と光学系を備えたMicroLineは、透明なレイヤーや不規則なエッジのあるラインなどを測定するための堅牢な機能を備えています。

MicroLineは、VIEWの主力計測ソフトウェアであるVMSで動作します。

サポート
info@viewmm.com

システムサポートのステータスについては、以下を参照してください。

製品サポートマトリックス

サンプル測定 受付中

のために 無料 高性能寸法測定システム応用研究

ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2111" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2115" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2114" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2113" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2116" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2118" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

VMS®およびElements®ソフトウェア

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2109" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

全製品ラインを見る

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2110" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2117" gf_ajax = "true"]
ご関心をお寄せいただきありがとうございます

MicroLine AF Plus

このファイルを表示するために、いくつかの情報を提供するようお願いします。
[dlm_gf_form download_id = "2042" gf_ajax = "true"]

このWebサイトでは、Cookieを使用して、Webサイトで最高のエクスペリエンスを確実に得られるようにしています。このサイトを継続して使用することにより、Cookieの使用に同意したことになります。 もっと詳しく知る.