Accurate and Efficient Non-Contact Inspection in a Broad Range of Implementations

光計測アプリケーション
どの製品があなたに最適かわかりませんか?

VIEW metrology solutions measure critical dimensions in a wide variety of applications involving 2D micro-components and assemblies.  Compared to “walk up and measure” routines, VIEW systems are designed for continuous operation in automated production environments, with speeds that often help metrology teams achieve 100% inspection.

フォトリソグラフィーとMEMの製造

VIEWシステムは、測定ウィンドウ内のピクセルを分析し、円の半径方向の強度プロファイルを作成します

オリフィス径/位置測定精度<10nm 

たわみ、指、櫛、円弧、円の直径、および中心位置のピッチ、幅、および間隔の測定 

さまざまなアパーチャのサイズ、形状、位置を迅速に測定する柔軟性

ボールの測定、ツーリングマークの直径、配置、パッドの位置合わせ、およびワイヤーループの高さ

重要な寸法測定システム

電子アセンブリのキャリブレーションとモニタリング

光ファイバ相互接続コンポーネントの計測ソリューション 

大規模なマルチリードアレイ内の各リードの実際の位置とピッチを測定する 

コネクタの位置、サイズ、ピッチ、および共面性の測定に関するデータをすばやく取得します 

パッドに対するポジショニングと回転(X、Y、シータ)の測定

重要な寸法測定システム

重要な寸法測定システム

携帯電話、タブレット、ウェアラブルアセンブリ

複数レベルの倍率でのファンアウトウェーハレベルパッケージの正確で効率的な非接触検査

用途の広い照明、大型ステージ、高解像度ポジショニング 

共面性、リード幅、ピッチ、ボール径、パッケージ高さ、反り検査 

PCB検査

リード、パッド、反りの位置などの重要な機能の測定

新しいプロセス開発に不可欠な高さと体積の測定

さまざまなアパーチャのサイズ、形状、位置を迅速に測定する柔軟性

ハードディスクドライブコンポーネント計測

ピナクルのパフォーマンスを次のレベルに引き上げます
大移動、高精度の寸法測定システム
卓越した線幅とオーバーレイ測定機能を提供します
卓越した線幅とオーバーレイ測定機能を提供します
大移動、高精度の寸法測定システム

重要な寸法測定システム

精密マイクロ研削

計測システムの高解像度ステージモーション、高品質の光学系、オートフォーカス機能
電気テストプローブの検査には、小さな特徴を正確に測定するための精密な計測機能が必要です。

非常に高レベルの3次元精度計測システム 

時計部品のプロセス制御と検査のための計測アプリケーション

重要な寸法測定システム

重要な寸法測定システム

カスタムエンジニアリング

アプリケーション固有のフィクスチャ、プログラミング、サードパーティのセンサーおよび機器へのインターフェース

VMSによる検査プロセスに不可欠 

重要な寸法測定システム

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VMS®およびElements®ソフトウェア

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