MicroLine AF Plus

高性能臨界尺寸測量系統。

VIEW MicroLine® 是一種高性能關鍵尺寸測量系統,適用於不需要全自動操作的晶圓、掩模、MEMS 和其他微製造設備。

MicroLine 系統具有最高質量的顯微鏡光學器件、電動自動對焦、電動載物台以及完全可編程的照明和測量配方。反射照明是標準的,透射照明是可選的。 MicroLine 系統能夠測量亮線和暗線、半透明層、邊緣不規則的線和其他關鍵特徵。

標準
可選的
XYZ旅行

MicroLine 1000 100 x 100 x 175 毫米
MicroLine 2000 200 x 200 x 175 毫米
MicroLine 3000 300 x 300 x 145 毫米

計量相機
2.0 兆像素、數碼、黑白計量相機
1.4 兆像素、2/3 英寸、數字、單色和其他相機配置可根據要求提供
XY平台
手動同軸定位和快速釋放的交叉滾輪;用於透射光的玻璃載物台插件
物鏡(現場可互換)
10X 明場 50X 明場

5X BF 或 BF/DF
10X BF 或 BF/DF
20X LWD、BF 或 BF/DF
100X LWD、BF 或 BF/DF
150X LWD、BF 或 BF/DF

成像光學

奧林巴斯顯微鏡光學系統,包括水平明場/暗場照明器、帶 DIC 插槽的五物鏡手動鏡頭轉盤、帶光學十字準線的傾斜三目觀察系統以及帶攝像頭安裝座的標準 0.63X 背管

照明
綠色 LED 同軸表面燈和 LED 透射台下燈,光源和強度可編程
白色 LED 同軸表面光和濾色器
特徵

MicroLine 系統非常適合測量晶圓、掩模、MEMS 和其他微製造零件。這些功能強大的台式儀器可為最大 300 x 300 毫米的零件上小至 0.5 微米的特徵提供精確的光學測量。憑藉其先進的照明和光學元件,MicroLine 在測量透明層、具有不規則邊緣的線條等方面擁有強大的功能。

MicroLine 與 VIEW 的旗艦計量軟件 VMS 配合使用:

支持
info@viewmm.com

系統支持情況請參考:

產品支持矩陣

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