MicroLine AF Plus

高性能关键尺寸测量系统。

VIEW MicroLine® 是一种高性能关键尺寸测量系统,适用于不需要全自动操作的晶圆、掩模、MEMS 和其他微制造设备。

MicroLine 系统具有最高质量的显微镜光学器件、电动自动对焦、电动载物台以及完全可编程的照明和测量配方。反射照明是标准的,透射照明是可选的。 MicroLine 系统能够测量亮线和暗线、半透明层、边缘不规则的线和其他关键特征。

标准
可选的
XYZ 行程

MicroLine 1000 100 x 100 x 175 毫米
MicroLine 2000 200 x 200 x 175 毫米
MicroLine 3000 300 x 300 x 145 毫米

计量相机
2.0 兆像素、数码、黑白计量相机
1.4 兆像素、2/3 英寸、数字、单色和其他相机配置可根据要求提供
XY平台
手动同轴定位和快速释放的交叉滚轮;用于透射光的玻璃载物台插件
物镜(现场可互换)
10X 明场 50X 明场

5X BF 或 BF/DF
10X BF 或 BF/DF
20X LWD、BF 或 BF/DF
100X LWD、BF 或 BF/DF
150X LWD、BF 或 BF/DF

成像光学

奥林巴斯显微镜光学系统,包括水平明场/暗场照明器、带 DIC 插槽的五物镜手动镜头转盘、带光学十字准线的倾斜三目观察系统以及带相机支架的标准 0.63X 背管

照明
绿色 LED 同轴表面灯和 LED 透射台下灯,光源和强度可编程
白色 LED 同轴表面光和滤色器
特征

MicroLine 系统非常适合测量晶圆、掩模、MEMS 和其他微制造零件。这些功能强大的台式仪器可为最大 300 x 300 毫米的零件上小至 0.5 微米的特征提供精确的光学测量。凭借其先进的照明和光学元件,MicroLine 在测量透明层、具有不规则边缘的线条等方面拥有强大的功能。

MicroLine 与 VIEW 的旗舰计量软件 VMS 配合使用:

支持
info@viewmm.com

系统支持情况请参考:

产品支持矩阵

对您的零件进行的应用研究

为一个 免费 我司高性能尺寸测量系统可以为您提供免费的应用研究

感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2111" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2115" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2114" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2113" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2116" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2118" gf_ajax="true"]
感谢您对

VMS® 和 Elements® 软件

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2109" gf_ajax="true"]
感谢您对

查看完整的产品线

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2110" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2117" gf_ajax="true"]
感谢您对

MicroLine AF Plus

为了让您查看此文件,我们要求您提供一些信息。
[dlm_gf_form download_id="2042" gf_ajax="true"]

本网站使用 cookie 来确保您在我们的网站上获得最佳体验。继续使用本网站,即表示您同意我们使用 cookie。 了解更多.