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MicroLine AF Plus
标准
可选的
XYZ 行程
MicroLine 1000 100 x 100 x 175 毫米
MicroLine 2000 200 x 200 x 175 毫米
MicroLine 3000 300 x 300 x 145 毫米
计量相机
2.0 兆像素、数码、黑白计量相机
1.4 兆像素、2/3 英寸、数字、单色和其他相机配置可根据要求提供
XY平台
手动同轴定位和快速释放的交叉滚轮；用于透射光的玻璃载物台插件
物镜（现场可互换）
10X 明场 50X 明场
5X BF 或 BF/DF
10X BF 或 BF/DF
20X LWD、BF 或 BF/DF
100X LWD、BF 或 BF/DF
150X LWD、BF 或 BF/DF
成像光学
奥林巴斯显微镜光学系统，包括水平明场/暗场照明器、带 DIC 插槽的五物镜手动镜头转盘、带光学十字准线的倾斜三目观察系统以及带相机支架的标准 0.63X 背管
照明
绿色 LED 同轴表面灯和 LED 透射台下灯，光源和强度可编程
白色 LED 同轴表面光和滤色器
特征
MicroLine 系统非常适合测量晶圆、掩模、MEMS 和其他微制造零件。这些功能强大的台式仪器可为最大 300 x 300 毫米的零件上小至 0.5 微米的特征提供精确的光学测量。凭借其先进的照明和光学元件，MicroLine 在测量透明层、具有不规则边缘的线条等方面拥有强大的功能。
MicroLine 与 VIEW 的旗舰计量软件 VMS 配合使用：
