微機電系統

測量 MEMS 設備的各種關鍵尺寸，包括節距、寬度和撓曲、手指、梳子、圓弧、圓直徑和中心位置的間距。由於對 MEMS 器件的要求多種多樣，它們的尺寸範圍可以從幾微米到幾毫米不等。 

MEMS 設備的關鍵方面是它們包含移動組件。 MEMS 設備必須要么導致其組件之一移動，要么根據外部影響允許組件移動，然後感測該運動。 

MEMS 設備的移動組件通常採用撓性件，並且運動檢測通常涉及多組交錯的“手指”或“梳子”。對於精確的運動和運動檢測，了解撓性件和運動檢測組件的尺寸至關重要。