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光纤互连组件(“套圈”)的计量解决方案需要高精度和高吞吐量。关键尺寸之一是外壳与光纤中心的同心度。这确保了支持高速通信基础设施的正确接口。
同心度的典型要求小于一微米。为了达到这种精度水平,套圈垂直于光轴的分级至关重要。虽然可以通过从套圈表面采集点来建立平面,但 OD 和 ID 数据点的准确性应该在单个 FOV 内没有平台运动的情况下进行。这是通过 VMS 的 6:1 数字变焦功能实现的。
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