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测量 MEMS 设备的各种关键尺寸,包括节距、宽度和挠曲、手指、梳子、圆弧、圆直径和中心位置的间距。由于对 MEMS 器件的要求多种多样,它们的尺寸范围可以从几微米到几毫米不等。
MEMS 设备的关键方面是它们包含移动组件。 MEMS 设备必须要么导致其组件之一移动,要么根据外部影响允许组件移动,然后感测该运动。
MEMS 设备的移动组件通常采用挠性件,并且运动检测通常涉及多组交错的“手指”或“梳子”。对于精确的运动和运动检测,了解挠性件和运动检测组件的尺寸至关重要。
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