MEMS

Đo nhiều kích thước quan trọng khác nhau trên thiết bị MEMS, bao gồm cao độ, chiều rộng và khoảng cách của các chỗ uốn, ngón tay, lược, cung tròn, đường kính vòng tròn và vị trí tâm. Do có vô số yêu cầu đối với các thiết bị MEMS, chúng có thể có kích thước từ vài micromet đến vài milimet. 

Khía cạnh quan trọng của các thiết bị MEMS là chúng kết hợp các thành phần chuyển động. Một thiết bị MEMS phải làm cho một trong các thành phần của nó chuyển động hoặc cho phép một thành phần di chuyển dựa trên ảnh hưởng bên ngoài và sau đó cảm nhận được chuyển động đó. 

Thành phần chuyển động của thiết bị MEMS thường sử dụng khả năng uốn cong và việc phát hiện chuyển động thường liên quan đến tập hợp các “ngón tay” hoặc “lược” đan xen. Để phát hiện chuyển động và chuyển động chính xác, việc biết kích thước của các bộ phận uốn cong và phát hiện chuyển động là rất quan trọng.