MicroLine AF

VIEWMicroLine®は、完全に自動化された操作を必要としない状況でのウェーハ、マスク、MEMSおよびその他の微細加工デバイス用の高性能の重要な寸法測定システムです。

MicroLineシステムは、最高品質の顕微鏡光学系、電動オートフォーカス、手動操作ステージ、完全にプログラム可能な照明および測定レシピを備えています。反射照明が標準で、透過照明はオプションで利用できます。 MicroLineシステムは、明るい線と暗い線、半透明の層、不規則なエッジのある線、およびその他の重要な機能を測定できます。