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Benchmark 300
高性能フロアモデル光学計測システム
VIEWBenchmark™300は、フロアモデルパッケージで高性能と信頼性を実現するように設計されています。高度な光学、照明、画像処理、および利用可能な連続画像キャプチャにより、VIEWBenchmarkは世界クラスの計測システムになっています。
コンパクトなフロアモデルプラットフォームで最大300x300mmの部品を処理するように設計されたVIEWシステム。 Benchmark 300は、プロセス制御の正確な測定を提供するために生産現場で使用するように設計されています。そのステージは、高スループット、精度、およびVIEWに期待される精度を必要とする中判計測アプリケーションに最適です。
標準
オプション
XYZトラベル
300 x 300 x 200 mm
300x300x200 mm
負荷容量
30kg
計測カメラ
VIEW1XバックチューブとVIEW2.5X対物レンズを備えた単一倍率の固定レンズ光学系
VIEW2.5X対物レンズを備えた2倍倍率固定レンズ光学系。オプションの対物レンズ：0.8X、1 X、5.0X、10X、および25X
計測カメラ
標準：2.0メガピクセル（1628 x 1236）、デジタル、モノクロ
カラーおよびその他のカメラ構成はオプションで利用可能です
イルミネーション
標準：同軸スルーザレンズ表面光、ステージ下バックライト、および電動入射角制御を備えた多色リングライト用のプログラム可能なLED照明システム
グリッドオートフォーカスシステム
センサーオプション
スルーザレンズ（TTL）レーザー
RainbowProbe™軸外白色光範囲センサー
測定モード
高速移動および測定（MAM）
連続画像キャプチャ（CIC）
特徴
Benchmark 300には、次のものが標準で付属しています。
- 高解像度単一倍率光学システム
- 2.5倍の顕微鏡対物レンズ
- 0.1umスケール
- プログラム可能なリングライト（PRL）
- 多機能ハンドコントローラー
- PCベースのシステムコントローラー。
- ビューメトロロジーソフトウェア（VMS）、1つのシステムで高レベルの機能と使いやすさを兼ね備えています。
Benchmark300の特別なオプションは次のとおりです。
- 0.05umスケールの解像度で精度が向上
- パルスバックライト 連続画像キャプチャ （CiC）アプリケーション
以下を含む、すべての標準のVIEWハードウェアおよびソフトウェアオプションもBenchmark300で利用できます。
- 二重倍率光学システム
- グリッドオートフォーカス ロンカイ またはドットグリッドプロジェクター
- 0.8X、1X、5X、10X、および25Xフロント対物レンズ
- スルーザレンズ（TTL）レーザー
- MicroTheta回転台
- RainbowProbe™
- 産業用デジタルI / O
- 温度監視
- 要素 ソフトウェアを測定するためのカナダドル
- 連続画像キャプチャ （CiC）
- エリアマルチフォーカスパッケージ
- 高度な画像処理パッケージ
