ウェーハレベル検査

今日の半導体設計はますます小さくなり、密度が高くなっているため、ウェーハ検査の課題は絶えず増大しています。フィーチャサイズが非常に小さい場合は、50倍以上の対物レンズ倍率と高度にプログラム可能なトップライト/バックライト、および超高解像度の精度と再現性が必要になる場合があります。