電気テストプローブ

電気テストプローブの検査には、テストリードエンドの位置、ピッチ、同一平面性などの小さな特徴を正確に測定するための精密な計測機能が必要です。高速で再現性のある精密検査プロセスでは、多くの場合、複数の倍率、50倍レンズを備えた高性能ビデオオートフォーカス、および/または迅速なZ軸測定のためのレンズ貫通レーザーオプションの組み合わせが必要です。

これらの要求の厳しい寸法測定を実行することに加えて、VIEWシステムは、この場合、断線または基板表面の引っかき傷の存在を含む欠陥検査を実行するためにも使用されます。