MEMS

たわみ、指、くし、円弧、円の直径、中心の位置のピッチ、幅、間隔など、MEMSデバイスのさまざまな限界寸法を測定します。 MEMSデバイスには無数の要件があるため、サイズは数ミクロンから数ミリメートルの範囲になります。 

MEMSデバイスの重要な側面は、可動コンポーネントが組み込まれていることです。 MEMSデバイスは、そのコンポーネントの1つを動かすか、外部の影響に基づいてコンポーネントを動かしてから、その動きを感知する必要があります。 

ＭＥＭＳデバイスの可動部品は、通常、たわみを使用し、動きの検出は、しばしば、インターリーブされた「指」または「櫛」のセットを伴う。正確な動きと動きの検出には、たわみと動きの検出コンポーネントの寸法を知ることが重要です。